Salah satu hal yang cukup rumit dalam proses litografi adalah overlay,
yaitu ukuran seberapa baik satu layer dicetak diatas layer yang lain.
Chip tersusun dari beberapa lapis material yang memiliki pola tertentu
dan saling terkait satu sama lain.
Analogi sederhananya seperti teknik sablon pada baju atau kartu ucapan berwarna.
Tukang sablon akan membuat beberapa master berdasarkan warna. Kemudian
master-master ini dicetak pada baju atau kartu ucapan secara berurutan
hingga semua warna pada desain tercetak.
Pada analogi tukang sablon, mereka harus memastikan bahwa cetakan
setiap master harus simetris tepat di atas cetakan sebelumnya.
Kembali pada proses litografi, ukuran seberapa baik suatu layer
dicetak di atas layer lain disebut overlay.
Chipmaker harus bisa mengontrol overlay hingga satu per 10 ribu
diameter rambut manusia.
Bagaimana caranya? Yaitu dengan optics. Maksudnya bukan sekedar
mikroskop, tapi juga memanfaatkan difraksi untuk membaca tanda
alignment pada wafer dan interferometer untuk mengatur posisi wafer di
bawah lensa.
