Tentang metode optimisasi sistem litografi menggunakan dua atau lebih iluminator. Tujuannya meningkatkan kejelasan gambar (image fidelity), kedalaman fokus (depth of focus) yang tinggi sehingga suatu desain chip lebih mudah dibuat (manufacturable). Sisanya bisa dibaca di sini.
Chip
Rangkaian elektronik yang merupakan gabungan dari jutaan transistor, resistor dan komponen elektronika lain. Jika anda pernah membongkar komputer, hand phone atau peralatan elektronik lain, komponen terbesarnya adalah chip dengan puluhan atau ratusan kaki. Chip ini merupakan otak kerja dari suatu devais elektronika dan berfungsi sangat kompleks. Semakin kompleks fungsi dari suatu chip, semakin banyak jumlah komponen yang terintegrasi di dalamnya.
Wafer
Lempengan silikon berbentuk lingkaran di mana chip dibuat. Diameternya wafer yang tersedia dari 150mm, 200mm, dan 300mm (yang terbesar saat ini). Satu wafer memuat ratusan hingga ribuan chip untuk diproses secara bersamaan.
